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PHI660
仪器编号:
20021588
仪器名称:
扫描俄歇微探针
Scanning Auger Microprobe (SAM)
  型号:
PHI 660
生产厂商:
Physical Electronics, Inc.
出厂年月:
2001年05月
 出厂号:
613057J
购置年月:
2002年04月
  单价:
 
放置地点:
凌峰楼-101#

[机时申请表下载]
导师审核签字的申请表与样品一同递交能谱室

仪器管理组:

   徐富春, 0592-2184829(O), esca@xmu.edu.cn
   岑丹霞, 0592-2184829(O)

  • 主要技术指标&应用
  • 主要附件
  • 参考文献
  • 测试须知

检测范围:原子序数大于He的所有元素
检测极限:0.1 at%
信息深度:0.5~5 nm
空间分辨率:25 nm
能量分辨率≤0.3%
半定量:相对原子灵敏度因子法

主要功能及应用范围:
主要应用于固体材料的成份,特别是微纳区域的表面与结构分析(线扫描,面扫描,深度剖析,成像)。

主要附件